富創(chuàng)精密已成為全球?yàn)閿?shù)不多能夠?yàn)?納米工藝制程半導(dǎo)體設(shè)備批量提供精密零部件的廠商。

中國半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)發(fā)展如同“攀登珠峰”，如果把半導(dǎo)體設(shè)備比作“登山靴”，那精密零部件就是“鞋底”，決定著設(shè)備的制造供應(yīng)和升級迭代，這也曾是國內(nèi)半導(dǎo)體設(shè)備企業(yè)被“卡脖子”的環(huán)節(jié)之一。

富創(chuàng)精密是國內(nèi)半導(dǎo)體設(shè)備精密零部件的領(lǐng)軍企業(yè)，為半導(dǎo)體設(shè)備提供機(jī)械及機(jī)電零組件、氣體傳輸系統(tǒng)等產(chǎn)品，覆蓋了芯片制造的光刻、刻蝕、薄膜沉積、涂膠顯影等多個(gè)環(huán)節(jié)。目前，富創(chuàng)精密已成為全球?yàn)閿?shù)不多能夠?yàn)?納米工藝制程半導(dǎo)體設(shè)備批量提供精密零部件的廠商。

富創(chuàng)精密創(chuàng)始人、董事長鄭廣文表示，富創(chuàng)精密主要在三大領(lǐng)域發(fā)力：一是精密金屬零件加工，從OEM（原始設(shè)備制造商）起步，目前半導(dǎo)體領(lǐng)域90%的金屬零部件都能制作并實(shí)現(xiàn)國產(chǎn)化；二是真空閥體等產(chǎn)品類的業(yè)務(wù)，這些產(chǎn)品很多國產(chǎn)化程度都比較低，有產(chǎn)品90%都依賴進(jìn)口，國產(chǎn)替代空間廣闊；三是氣體傳輸系統(tǒng)，這是公司業(yè)績增長“新曲線”。

“以7納米芯片為例，已經(jīng)沒法用機(jī)械方式去挖溝槽，主要靠化學(xué)反應(yīng)，而化學(xué)反應(yīng)主要靠氣體。整個(gè)半導(dǎo)體在刻蝕、鍍膜、注入等環(huán)節(jié)都靠氣體，對氣體傳輸?shù)臐崈舫潭群涂刂凭珳?zhǔn)度提出很高要求。”鄭廣文表示。

目前，氣體傳輸整體系統(tǒng)及關(guān)鍵零組件制造核心技術(shù)的國產(chǎn)化率仍然較低，氣體傳輸系統(tǒng)零部件市場主要由少數(shù)大型企業(yè)主導(dǎo)，而富創(chuàng)精密通過投資的方式彌補(bǔ)了這一關(guān)鍵環(huán)節(jié)的短板。

鄭廣文表示：“氣體傳輸業(yè)務(wù)的增長勢頭非常好。首先是市場的‘絕對數(shù)量’夠，氣體傳輸系統(tǒng)大約占整個(gè)半導(dǎo)體設(shè)備銷售額的7%到8%。其次是國產(chǎn)化空間大，目前該領(lǐng)域進(jìn)口比例較高。最后是富創(chuàng)精密的技術(shù)沒問題，現(xiàn)在各大半導(dǎo)體設(shè)備廠商研發(fā)新工藝，富創(chuàng)精密大多都參與設(shè)計(jì)。”

校對：冉燕青