6月24日,晶盛機電、浙江大學集成電路學院、浙江創芯集成電路有限公司(簡稱“浙江創芯”)三方正式簽署戰略合作框架協議,共建“先進集成電路裝備與工藝聯合研發中心”“集成電路人才培養與技術創新校企協同中心”,致力于通過產學研深度融合,加速集成電路裝備與制造領域新技術、新產品的研發突破,為我國集成電路產業的健康、快速發展提供科技和人才支撐。
根據協議,三方將圍繞12英寸硅外延設備及工藝開發等方向開展聯合研發,并建立高層次人才引育機制,推動教學實踐與科研實習深度融合,助推集成電路裝備行業高質量發展。同時,積極組織專家開展半導體裝備、材料等領域的聯合研究,為產業發展提供前瞻性、關鍵性建議,共同促進集成電路上下游生態領域健康、可持續發展。
據了解,本次戰略合作,將充分發揮晶盛機電的產業化優勢、浙江大學的科研創新優勢及浙江創芯的平臺轉化優勢,構建“基礎研究—技術攻關—成果轉化—產業應用”的創新閉環,加速突破集成電路裝備領域關鍵技術瓶頸,培養復合型產業人才,實現創新鏈、產業鏈、人才鏈的協同發展,對提升我國集成電路產業核心競爭力具有重要意義。
晶盛機電成立于2006年,并于2012年在深交所掛牌上市。作為國內半導體材料設備領域領先企業,聚焦硅、碳化硅、藍寶石三大半導體材料,推動行業技術創新和全產業鏈設備國產替代。
資料顯示,浙江大學集成電路學院是浙江大學于2023年12月成立并實體化運行的新型學院,學院以產教融合為核心,整合多方資源,致力于培養領軍人才和攻克關鍵技術,在學科建設、科研創新、校企合作等領域具有特色,在硅單晶生長、射頻芯片、集成電路主要設備關鍵零部件、專用集成電路芯片設計等領域具有深厚基礎,在集成電路制造及超大規模集成電路設計方面形成了獨特優勢。
浙江省集成電路創新平臺由浙江省、杭州市、蕭山區三級政府以及浙江大學共同建設,由浙江創芯集成電路有限公司負責市場化運營。該平臺是全國唯一的產教融合12英寸集成電路成套工藝技術創新和公共服務平臺,旨在打造“原始創新—技術驗證—中試轉化—投資孵化—人才培養”全鏈路集成電路自主產業生態,推動我國集成電路產業高質量發展。
晶盛機電持續在集成電路領域協同產學研多方合作發展。在近期舉辦的第七屆長三角一體化發展高層論壇上,晶盛機電牽頭與上海新昇半導體材料、浙江大學等共建成立長三角集成電路大硅片拋光技術創新聯合體,攜手攻克行業內卡脖子難題。
晶盛機電方面表示,目前,國內集成電路大硅片生產制造所需設備的國產化程度并不高,為進一步提升滬蘇浙皖企業在設備、相關核心零部件、輔耗材等方面的國產化率,晶盛機電以設備供應商的角色,來整合全產業鏈條上的要素,并進一步實現降本增效,現預計可以降低約20%的成本。