證券時報、遼寧日報聯合報道組

渾河之畔，鐵西區的老廠房曾托起新中國工業的脊梁，齒輪與軸承的轟鳴聲里，“東方魯爾”的鋼鐵血脈流淌了半個世紀。而今，沈陽這座鐫刻著“共和國長子”榮光的城市，正以精密半導體設備的嗡鳴續寫新的傳奇。

在京津冀與長三角的半導體版圖之外，以沈陽為代表的遼寧工業重鎮用二十年時間破繭成蝶，將老工業基地的厚重積淀熔鑄成中國半導體設備國產替代的東北力量。截至2025年5月底，遼寧省上市公司數量共84家，高新技術企業占比過半，以拓荊科技、芯源微、富創精密等為代表的半導體設備企業交出了一份嶄新的資本市場“遼寧答卷”。

從薄膜沉積設備、涂膠顯影設備到半導體設備精密零部件，遼寧企業在一個又一個領域打破海外壟斷，托起國產半導體設備的脊梁。近日，證券時報、遼寧日報“從資本市場看地方高質量發展”大型融媒報道采訪團走進遼寧沈陽，進行深度調研。

根植沃土：

從鋼鐵轟鳴到“芯片森林”

在沈陽，一條渾河串聯起了遼寧產業發展的脈絡，當北岸鐵西區的鋼鐵轟鳴聲逐漸遠去，南岸的渾南區一座座半導體設備工廠拔地而起。從2019年至今，遼寧在資本市場從無到有跑出了芯源微、神工股份、拓荊科技、富創精密、連城數控這5家以半導體為主業的上市公司，半導體設備產業集群初現規模。

不僅勢頭猛，而且后勁足，在半導體設備領域擁有核心技術的沈陽新松半導體設備有限公司（以下簡稱“新松半導體”）、沈陽和研科技股份有限公司（以下簡稱“和研科技”）、中國科學院沈陽科學儀器股份有限公司（以下簡稱“中科儀”）等優秀企業也在遼寧深深扎根、靜待花開。

沈陽市發改委相關負責人在接受證券時報記者采訪時表示，沈陽市集成電路產業集群重點企業數量已達57家，形成了以拓荊科技、芯源微、富創精密、中科儀、和研科技、新松半導體等6家龍頭企業為主體，N家配套企業為支撐的“6+N”產業發展體系。

“拓荊科技的等離子體增強化學氣相沉積、原子層沉積及應用于三維集成領域的先進鍵合設備已達到國際先進水平。芯源微的前道涂膠顯影設備已與光刻機聯機運行，成為中高端涂膠顯影機國內唯一的供應商。富創精密是國內精密零部件領軍企業，也是全球為數不多的能夠量產應用于7納米工藝制程半導體設備的精密零部件制造商。”上述負責人表示。

為何遼寧能長出這一片半導體設備“森林”？答案是：工業基礎是“土壤”，產業集聚是“陽光”，而科教基因是“種子”。從工業基礎來看，遼寧省工業門類齊全且體系完備，國民經濟行業41個工業大類，遼寧擁有40個（僅缺其他采礦業）。

新松半導體總經理程龍表示：“沈陽作為‘共和國長子’，制造業有著得天獨厚的優勢，半導體裝備核心零部件的產業配置完善，在政策引導下形成了集成電路裝備產業集群。”

沈陽市發改委相關負責人稱，早在2004年，沈陽就成立了全國第一個集成電路裝備制造業產業基地，2010年該基地被科技部認定為國家集成電路裝備高新技術產業化基地。如今沈陽正推進以渾南“北方芯谷”產業片區為主的“一主兩翼”產業空間布局建設，加快集成電路產業集聚發展。

在“遼寧集群”崛起之路上，科研基因起到了關鍵作用。遼寧科教實力雄厚，全省共有高等院校114所，其中本科高校63所，數量位居全國第六。2024年，遼寧新增了10家全國重點實驗室，圍繞重點產業布局了20個重點實驗室群，全省選派超千名科技特派員服務企業。

遼寧半導體產業版圖深植“中國科學院基因”，多家龍頭企業的發展源頭可追溯至中國科學院科研院所。中國科學院沈陽分院在遼寧有大連化學物理研究所、金屬研究所、沈陽應用生態研究所、沈陽自動化研究所等4個研究所，以及沈陽計算技術研究所有限公司、中科儀等2個整體轉制公司。其中，在新三板掛牌的中科儀是國內唯一實現集成電路領域批量應用的干式真空泵制造企業。

沈陽自動化研究所的產業孵化能力尤為突出：其控股的創業板上市公司機器人（新松機器人）孕育了新松半導體；早年發起成立的沈陽先進制造技術產業有限公司（于2013年退出），現為富創精密的第一大股東；芯源微的創立同樣源自該所，其創始人、榮譽董事長宗潤福，曾擔任自動化研究所的研究員、室主任。

科教埋下的“種子”，在政策、金融、企業、市場多方合力下茁壯成長，讓遼寧這片“鋼鐵大地”生長出了覆蓋薄膜沉積設備、涂膠顯影設備、真空機械手等全產業鏈的“半導體設備森林”。

鍛金礪鋒：用金融力量磨出科技鋒刃

全球產業爭鋒猶如棋盤對弈，布局遠非一日之功。遼寧半導體設備企業從“活下來”到“活得好”，離不開政策和金融力量支撐的“三步棋”。棋盤山所在的渾南區就是沈陽半導體設備產業的發展“主陣地”，匯聚了拓荊科技、芯源微、富創精密等核心企業。

拓荊科技董事長呂光泉表示，在中國半導體設備“從0到1”的路上，國家科技重大專項功不可沒。拓荊科技、芯源微、富創精密與新松半導體均承擔著國家科技重大專項的部分研發任務，并從中獲得了重要的資金支持。

呂光泉認為，中國的產業政策在半導體設備領域起到了實效。“你現在看到的所有第一梯隊的半導體設備企業，基本上都承擔過國家科技重大專項，它讓半導體材料和設備完成了‘從0到1’的跨越，造就了這些企業的第一代技術。”呂光泉表示，“而‘從1到10’的路上，國家大基金進來了。”

2014年，國家集成電路產業投資基金一期股份有限公司（即國家大基金一期）成立，近七成資金投入集成電路制造領域。迄今為止，已成立三期國家大基金，總注冊資本超過6400億元。

和研科技總經理余胡平表示，2022年12月，和研科技在B+輪融資中獲得了國家大基金二期的投資，為公司發展“踩了一腳油門”。目前和研科技已成為國產切磨拋裝備的領軍企業，在劃片機、切割分選機和研磨機等半導體封裝領域關鍵設備上逐步打破海外企業壟斷。

遼寧半導體設備企業“從10到100”的路，得益于科創板提供的多項助力。富創精密創始人、董事長鄭廣文說：“科創板實際上救了中國的半導體，它把資金和資源聚集到了半導體企業身上。”

2019年12月16日，芯源微在科創板上市，成為“遼寧省科創板第一股”，形成了示范效應，帶動了一批真正有技術、有市場的沈陽半導體設備企業赴科創板上市。2022年4月，拓荊科技在科創板上市，同年10月，富創精密登陸科創板。

向科創板的“一躍”，讓遼寧半導體設備企業有了充足的資金去擴張產能、研究技術。同時，科創板的股權激勵政策也讓半導體設備企業能更從容地面對行業激烈的人才爭奪戰。

宗潤福表示：“芯源微在科創板上市后，科創板的股權激勵提供了非常好的工具。”據透露，芯源微核心工程師的股權激勵收入曾一度達到其年收入的2倍，產生了對人才的“磁吸”效應。

“在科創板上市5年多來，公司的利潤增長了8倍，收入也增長了8倍。無論是IPO的資金還是上市之后的增發，這些融資擴產都讓公司受益。”宗潤福表示，“如果沒趕上科創板，我們可能也是一家健康的企業，但很難成為一家騰飛的企業。”

呂光泉認為，對許多半導體設備企業來說，從國家科技重大專項到國家大基金再到科創板上市，這三環每一環都不可或缺，有了持續的資金加持，前期踏踏實實搞研發、真正有技術突破的企業才能實現“從0到100”的騰飛。

改天換地：營商環境出現質變

國家層面的政策如雨露甘霖，潤澤各地，為何是遼寧長出了半導體設備的“廣闊森林”，逐步發展成中國半導體設備“第三極”？遼寧為何能培育出這么一批有活力有沖勁的創新型科技企業？

這背后，是包括沈陽在內的遼寧省多個城市讓營商環境“改天換地”，樹立了極強的服務企業的意識。沈陽市發改委等政府部門以“店小二”式的服務態度幫企業排憂解難，樹立了“項目為王、招商為要、落地為大”的服務理念。

沈陽市發改委相關負責人舉了這樣一個案例：在拓荊科技半導體先進薄膜設備產業化基地項目落地沈陽過程中，曾遇到門前有未被貫通路段等問題。沈陽市發改委主動傾聽企業訴求，多次組織召開協調會議，最后成功解決了企業門前路段貫通、開工前期場地平整、項目場地開口、停車位配建等問題，幫助項目順利落地開工。

沈陽市委金融辦則以“全周期護航”的態度陪伴企業發展。沈陽市委金融辦副主任、沈陽市地方金融管理局局長韓賓表示，在前端，市委金融辦建立了“上市快速響應機制”，對企業改制涉及的土地、稅務等問題適時啟動“上市聯席會議制度”，實行總對總的協調辦理，由市委金融辦對企業上市前期的訴求協調各部門分析、研判、解決。

“在中端，沈陽市委金融辦為企業協調并購貸款、融資擔保等金融服務，邀請交易所專家到企業實地考察調研并‘切脈聽診’，為企業上市創造有利條件、掃清障礙。在后端，市委金融辦設立了上市服務專班，為企業配備‘上市服務秘書’，2024年為宏遠股份、東方鈦業等企業協調解決合規性審查、國有資產確權等難題超過十項。”韓賓表示。

“我們就是服務員。”遼寧省地方金融管理局副局長戰巍表示。接受記者采訪時，他才剛從深圳回到沈陽，在深圳舉辦了2025“創投遼寧”發展大會深圳專場路演活動，拜訪了頭部創投機構，希望能吸引深圳投資者投資遼寧企業、分享遼寧發展紅利，助力遼寧企業早日登陸資本市場。目前，遼寧有上市輔導備案企業近30家。

對上市后備梯隊企業的“彎腰服務”，讓遼寧在資本市場收獲累累碩果且有“豐收展望”。自2019年以來，遼寧新增境內上市公司22家，占到了目前84家上市公司的26.2%。戰巍表示，目前遼寧上市后備庫企業共470家，其中專精特新、“瞪羚”、高新技術等科技型企業近350家。

聚力攻堅：打響創投補強、產業拓展長期戰役

盡管在資本市場上，遼寧已點燃“芯”星之火，但想讓其成燎原之勢、帶起整個“遼寧板塊”在資本市場上的聲量，仍需在多方面持續發力。

其一，需強化創投生態。與發達地區相比，遼寧本土創投力量稍顯薄弱，一定程度上制約了本地半導體企業的融資能力。外地創投機構對遼寧企業的了解，也很難像本土機構一樣深刻，需避免優質項目因“地域認知差”而錯失發展機遇。

戰巍表示，遼寧省正積極改善創投發展生態，去年成功舉辦首屆遼寧產投融合發展大會，發布200個重點新質生產力企業融資項目，釋放融資需求超120億元，吸引全國近百家創投機構走進遼寧。遼寧省還推出給予創投機構每家每年最高1000萬元財政資金激勵等系列支持措施，相繼吸引22只基金在遼寧省注冊落地，認繳資金70.92億元。遼寧還上線了“創投遼寧”股權投融資服務平臺，累計向千余家次投資機構發布企業融資需求近300億元，一年來助力20余家企業獲得股權融資5.7億元。

戰巍稱，當前遼寧省正大力爭取國家級基金、央企資本及頭部創投機構在遼設立或參股子基金，支持符合條件的創投機構發行科創債以擴充資金池。今年7月初，遼寧即將舉辦2025創投遼寧發展大會，將邀請創投機構深度走訪遼寧，深入了解遼寧豐厚的科教底蘊和“硬科技”本色。

其二，遼寧以重工業為主，在多個領域“大工廠”的身份強于“大市場”。為了“強鏈、固鏈、延鏈”，沈陽市積極謀劃集成電路設計、集成電路芯片產線等一批重點項目，填補在產業鏈上的“空白地帶”。沈陽市發改委表示，沈陽重點圍繞產業鏈上下游配套，推進億方聯創EDA底座與組件研發推廣中心等一批項目簽約落地，推動天科合達半導體設備產業化基地等項目年內開工，助力漢京半導體產業基地等項目竣工投產。

“我們的目標是：將沈陽建設成為具有國際重要影響力和競爭力的集成電路裝備產業基地，將集成電路裝備產業打造成為‘沈陽制造’新名片、新標志。”沈陽市發改委相關負責人表示。

在一個又一個戰場，以沈陽為代表的遼寧城市正打響長期的攻堅戰役。在營商環境上“改天換地”的遼寧，也需將半導體設備產業發展壯大的經驗復制到其他產業。只有在更多產業上走到全國“新一極”，才能真正在資本市場掀起“遼寧板塊”的燎原之火。（更多報道見A4版）

（報道組成員：證券時報記者胡學文、安宇飛，遼寧日報記者孔愛群、張學軍）