光刻機概念20日盤中震蕩上揚，截至發稿，強力新材20%漲停，晶瑞電材漲近12%，興業股份連續兩日漲停，肯特催化亦漲停。

機構表示，光刻機是晶圓制造最核心設備之一，技術難度最高且當前國產化率最低。光學系統為光刻機最核心部件。光刻機光學部件指直接參與光的傳輸和處理過程的精密零部件。光源及雙工臺同為光刻機核心部件，對光刻機效率起到重要作用。相關供應鏈企業努力攻堅，國內高端光刻機突破勢在必行。

國金證券指出，自02專項以來，部分光刻機整機公司在部分制程上已取得較為顯著的成績，完成了終端的0到1突破，在低端環節后續有望迎來產業端放量；在高端整機環節，2024年工信部發布的《首臺（套）重大技術裝備推廣應用指導目錄》中將國產KrF及ArF光刻機明確列入，標志著我國在DUV光刻機領域已取得明確進展。